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課程名稱 |
半導體製程概論
Introduction to Semiconductor Processing |
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開課學期 |
112-2 |
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授課對象 |
工學院 化學工程學研究所 |
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授課教師 |
吳乃立 |
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課號 |
ChemE5004 |
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課程識別碼 |
524 U0280 |
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班次 |
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學分 |
3.0 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期五2,3,4(9:10~12:10) |
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上課地點 |
綜504 |
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備註 |
化工選修課程。
限學士班四年級以上
總人數上限：80人 |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
1. 簡介半導體基本原理
2. 介紹晶圓製程及其原理
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課程目標 |
1. 讓學生具備半導體及其元件的物理原理
2. 讓學生熟悉晶圓製程中各個單元程序的內含及其原理
3. 讓學生了解化工原理如何應用於晶圓製程 |
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課程要求 |
修習過物化、輸送現象與反應工程為佳 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
半導體製程技術導論 蕭宏 原著 第三版 |
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參考書目 |
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期中考 |
50% |
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2. |
期末考 |
50% |
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針對學生困難提供學生調整方式 |
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上課形式 |
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作業繳交方式 |
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考試形式 |
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其他 |
由師生雙方議定 |
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